| 摘要 |
본 발명은, 도전성과 내구성을 겸비한 탄소 피막을, 선단이 분할된 기재에 대하여 형성하는 콘택트 프로브 핀에 있어서, 사용 환경이 고온으로 되는 상황 하에 있어서도, Sn 부착을 최대한 저감시켜, 장기간에 걸쳐서 안정된 전기적 접촉을 유지할 수 있는 콘택트 프로브 핀을 제공한다. 본 발명은, 2개 이상의 돌기로 분할된 선단을 갖고, 상기 돌기로 피검면에 반복하여 접촉하는 콘택트 프로브 핀이며, 적어도 상기 돌기의 표면에는, 금속 원소를 함유하는 탄소 피막이 형성되어 있는 동시에, 상기 돌기의 정상부에 있어서의 곡률 반경이 30㎛ 이상인 콘택트 프로브 핀에 관한 것이다. |
