一种切削刀具材料表面的Ti/TiN/TiAlN复合镀层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种切削刀具材料表面的Ti/TiN/TiAlN复合镀层及其制备方法，包括下述步骤：（1）将切削刀具材料表面进行清洗；（2）利用离子镀设备依次镀覆Ti层、TiN层；（3）利用磁控溅射设备镀覆TiAlN层，得到Ti/TiN/TiAlN复合镀层。该Ti/TiN/TiAlN复合镀层表面相对平整，膜基结合力高，抗磨损性能好，有利于延长刀具的使用寿命；而且镀膜的加工质量高；制备工艺简单，易于操作，在镀膜过程中采用电气和机械自动控制，适于批量生产。

主权项

一种切削刀具材料表面的Ti/TiN/TiAlN复合镀层的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：(1)将切削刀具材料表面进行清洗；(2)利用离子镀设备依次镀覆Ti层、TiN层；所述Ti层的镀覆条件为偏压调控在‑200伏、占空比为20％，单弧靶电流为70安培，电压为18～25伏；镀膜时间为10分钟；所述TiN层的镀覆条件为氮气流量调整为80SCCM，镀膜时间为5～30分钟；(3)利用磁控溅射设备镀覆TiAlN层，得到Ti/TiN/TiAlN复合镀层；所述TiAlN层的镀覆条件为抽真空至3×10^‑4Pa以上，将氮气流量调整为2～4SCCM，基体材料温度控制在430～460℃，靶源功率为6～8W/cm²，偏压‑150伏，镀膜时间为90分钟。