顶盖装置及制程装置

摘要

明提供了一种顶盖装置及制程装置。该顶盖装置包括喷水冷却部和上盖，该喷水冷却部和该上盖二者为彼此分立的结构，且该喷水冷却部能随该上盖一起在竖直方向上运动。该制程装置包括石英腔、驱动机构和上述顶盖装置，该顶盖装置安装在该石英腔的上方；该驱动机构连接该顶盖装置中的上盖，用于驱动该上盖在竖直方向上运动；并且该上盖在竖直方向上的运动距离大于等于该喷水冷却部在竖直方向上所能运动的距离。本发明提供的顶盖装置及制程装置，结构设计简单合理，保证石英腔不易损坏。

主权项

一种顶盖装置，包括喷水冷却部和上盖，其特征在于： 该喷水冷却部和该上盖二者为彼此分立的结构，且该喷水冷却部能随该上盖一起在竖直方向上运动。