Testobjekt zur Messung der Punktbildfunktion eines optischen Systems

摘要

Ein Testobjekt (17) zur Messung der Punktbildfunktion (PSF) eines optischen Systems (1) mit einem gegebenen Airy-Durchmesser (dAiry) umfasst eine abzubildende Struktur (5) mit einer Mehrzahl von abzubildenden Struktur-Elementen (18), wobei die Struktur-Elemente (18) derart ausgebildet und angeordnet sind, dass die Struktur mindestens zwei Symmetrieachsen (50) aufweist.