| 发明名称 |
Perfectionnements à la fabrication des dispositifs semiconducteurs |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR1545278(A) |
申请公布日期 |
1968.11.08 |
| 申请号 |
FR19670129523 |
申请日期 |
1967.11.24 |
| 申请人 |
RADIO CORPORATION OF AMERICA |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C30B31/06;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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