半导体检测设备内部净化装置

摘要

本实用新型公开了半导体检测设备内部净化装置，包括设备容腔、铝锂合金片、触动元件、反馈控制组件和收集板。所述铝锂合金片安装于所述设备容腔内部。所述触动元件连接所述铝锂合金片，并提供能源予铝锂合金片。所述反馈控制组件包括传感器和控制器，所述传感器安装于设备容腔内部，监测设备容腔内部状况，所述控制器分别连接传感器与触动元件，接收传感器反馈信息并控制触动元件。所述收集板设于设备容腔内并与铝锂合金片的位置相对。通过设置本实用新型可有效地缩短半导体检测设备维修时间和零部件清洁时间，增加半导体检测设备的可使用时间，从而增加半导体检测设备零部件使用寿命。

主权项

半导体检测设备内部净化装置，包括设备容腔，其特征在于，还包括铝锂合金片、触动元件、反馈控制组件和收集板；所述铝锂合金片安装于所述设备容腔内部；所述触动元件连接所述铝锂合金片，并提供能源予铝锂合金片；所述反馈控制组件包括传感器和控制器，所述传感器安装于设备容腔内部，监测设备容腔内部状况，所述控制器分别连接传感器与触动元件，其接收传感器反馈信息并控制触动元件；所述收集板设于设备容腔内并与铝锂合金片的位置相对。