| 发明名称 | 测量传感器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种测量传感器，包括一个基体(3)、一个设置在基体(3)上的测量膜片(5)和一个测量装置，其中，一个在测量膜片(5)与基体(3)之间的间隙(12)充填一种具有与空气相比提高热导率(κ)的流体。 | ||
| 申请公布号 | CN102052987B | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201010281084.2 | 申请日期 | 2010.09.09 |
| 申请人 | VEGA格里沙贝两合公司 | 发明人 | H·格吕勒 |
| 分类号 | G01L9/12(2006.01)I | 主分类号 | G01L9/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 饶辛霞 |
| 主权项 | 测量传感器，包括一个基体(3)，一个设置在基体(3)上的测量膜片(5)，一个测量装置，其特征在于，一个在测量膜片(5)与基体(3)之间的间隙(12)被充填一种具有与空气相比提高热导率(κ)的流体，其中流体是一种气体并且测量装置具有一个第一测量元件(10)和一个第二测量元件(11)；设置一个压力平衡装置(15)，该压力平衡装置构成为一个借助一个连接层(18)与基体(3)连接的压力平衡膜片(17)；在测量膜片(5)与基体(3)之间设置一个中间膜片(7)并且第一测量元件(10)设置在测量膜片(5)上而第二测量元件(11)设置在中间膜片(7)上；各测量元件(10、11)形成一个测量电容，用于探测测量膜片(5)相对于基体的位移；并且设置用于探测热冲击的其他的电极，所述电极设置在中间膜片(7)与基体(3)之间。 | ||
| 地址 | 德国沃尔法赫 | ||