发明名称 电学测试的汞探针装置
摘要 一种电学测试的汞探针装置,其特征在于,包括:一基座,该基座为扁平状的圆柱体,在基座的中心处纵向开有一细水银槽,在基座的中心处细水银槽的周围开有圆环形的水银槽;在基座的左侧圆柱体侧壁上开有一左水银槽,该左水银槽与圆环形的水银槽连通;与左水银槽相对的位置开有一右水银槽,该右水银槽与细水银槽垂直连通;与左、右水银槽垂直,在基座的上面分别开有一与左、右水银槽连通的左、右水银通道;一左推杆,该左推杆的一端插入在左水银槽内;一右推杆,该右推杆的一端插入在右水银槽内。
申请公布号 CN101644691A 申请公布日期 2010.02.10
申请号 CN200810118013.3 申请日期 2008.08.06
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 纪刚;孙国胜;宁瑾;刘兴昉;赵永梅;王雷;赵万顺;曾一平;李晋闽
分类号 G01N27/20(2006.01)I;G01N27/14(2006.01)I;G01K7/01(2006.01)I 主分类号 G01N27/20(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1.一种电学测试的汞探针装置,其特征在于,包括:一基座,该基座为扁平状的圆柱体,在基座的中心处纵向开有一细水银槽,在基座的中心处细水银槽的周围开有圆环形的水银槽;在基座的左侧圆柱体侧壁上开有一左水银槽,该左水银槽与圆环形的水银槽连通;与左水银槽相对的位置开有一右水银槽,该右水银槽与细水银槽垂直连通;与左、右水银槽垂直,在基座的上面分别开有一与左、右水银槽连通的左、右水银通道;一左推杆,该左推杆的一端插入在左水银槽内;一右推杆,该右推杆的一端插入在右水银槽内。
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