发明名称 |
电学测试的汞探针装置 |
摘要 |
一种电学测试的汞探针装置,其特征在于,包括:一基座,该基座为扁平状的圆柱体,在基座的中心处纵向开有一细水银槽,在基座的中心处细水银槽的周围开有圆环形的水银槽;在基座的左侧圆柱体侧壁上开有一左水银槽,该左水银槽与圆环形的水银槽连通;与左水银槽相对的位置开有一右水银槽,该右水银槽与细水银槽垂直连通;与左、右水银槽垂直,在基座的上面分别开有一与左、右水银槽连通的左、右水银通道;一左推杆,该左推杆的一端插入在左水银槽内;一右推杆,该右推杆的一端插入在右水银槽内。 |
申请公布号 |
CN101644691A |
申请公布日期 |
2010.02.10 |
申请号 |
CN200810118013.3 |
申请日期 |
2008.08.06 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
纪刚;孙国胜;宁瑾;刘兴昉;赵永梅;王雷;赵万顺;曾一平;李晋闽 |
分类号 |
G01N27/20(2006.01)I;G01N27/14(2006.01)I;G01K7/01(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/20(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1.一种电学测试的汞探针装置,其特征在于,包括:一基座,该基座为扁平状的圆柱体,在基座的中心处纵向开有一细水银槽,在基座的中心处细水银槽的周围开有圆环形的水银槽;在基座的左侧圆柱体侧壁上开有一左水银槽,该左水银槽与圆环形的水银槽连通;与左水银槽相对的位置开有一右水银槽,该右水银槽与细水银槽垂直连通;与左、右水银槽垂直,在基座的上面分别开有一与左、右水银槽连通的左、右水银通道;一左推杆,该左推杆的一端插入在左水银槽内;一右推杆,该右推杆的一端插入在右水银槽内。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |