一种投影光学系统及投影曝光装置

摘要

本发明提供了一种投影光学系统及其投影曝光装置，投影光学系统分为前组和后组，并以孔径光阑为对称面。其中，前组包括三组镜组，后组也包括三组镜组，前组中的三组镜组与后组中的三组镜组分别关于孔径光阑对称，每组镜组均为由负透镜和正透镜构成的反远距光学结构。前组中第一镜组包括透镜L1～L4，第二镜组包括透镜L5～L6，第三镜组包括透镜L7～L8；后组中第四镜组、第五镜组和第六镜组分别包括透镜L9～L10，L11～L12，L13～L16。其中，透镜L1和L7的材料为熔石英玻璃，透镜L2～L5的材料为火石玻璃，透镜L6和L8的材料为冕牌玻璃。该投影光学系统的工作波长是g线、h线和i线宽光谱光，成像质量良好，透镜材料内部吸收小，有较小的光学总长。

主权项

1、一种投影光学系统，沿其光轴方向从物面一侧至像面一侧依次包括前组、孔径光阑和后组，前组和后组关于孔径光阑对称，其特征在于：所述的前组从物面一侧至像面一侧依次由第一镜组(G1)、第二镜组(G2)和第三镜组(G3)三组镜组组成，其中第一镜组(G1)从物面一侧至像面一侧依次包括第一到第四透镜(L1～L4)，第二镜组从物面一侧至像面一侧依次包括第五透镜(L5)和第六透镜(L6)，第三镜组从物面一侧至像面一侧依次包括第七透镜(L7)和第八透镜(L8)；所述第一镜组(G1)、第二镜组(G2)和第三镜组(G3)均是反远距光学结构，所述前组的第一镜组(G1)中第一透镜(L1)是双凹负透镜，第二透镜(L2)是凹面朝向物面一侧的弯月负透镜，第三透镜(L3)是凹面朝向物面一侧的弯月正透镜，第四透镜(L4)是双凸正透镜，所述前组的第二镜组(G2)中第五透镜(L5)是凹面朝向物面一侧的弯月负透镜，第六透镜(L6)是双凸正透镜，所述前组的第三镜组(G3)中第七透镜(L7)是双凹负透镜，第八透镜(L8)是双凸正透镜；所述的后组由第四镜组(G4)、第五镜组(G5)和第六镜组(G6)三组镜组组成，其中第四镜组(G4)包括第九透镜(L9)和第十透镜(L10)，第五镜组(G5)包括第十一透镜(L11)和第十二透镜(L12)，第六镜组(G6)包括第十三到第十六透镜(L13～L16)；孔径光阑位于第三镜组(G3)和第四镜组(G4)之间，所述前组的镜组(G1～G3)与所述后组的镜组(G6～G4)组成关于孔径光阑完全对称的光学系统，所述前组的后焦点和所述后组的前焦点与所述孔径光阑中心重合，构成双远心光学系统。