| 发明名称 | 无尘室室内循环空气净化设备 | ||
| 摘要 | 一种无尘室室内循环空气净化设备，主要系于外气入口连设一外气空调箱(Make Up Air Unit,MAU)，该外气空调箱之出口系直接导入一无尘室制程设备区，该无尘室制程设备区内设有一微污染净化设备及一特殊制程区，该微污染净化设备中系设有至少一吸附机构，该吸附机构上系涂布有一吸附层，以吸附无尘室室内循环空气内所含之微污染物，该微污染净化设备系与无尘室制程设备区之特殊制程区连设，且该无尘室制程设备区再与一制程废气处理设备连接，该制程废气处理设备系供处理无尘室制程设备区内之气体，经处理后再排放至大气中；藉此，以净化无尘室制程设备区之循环空气者。 | ||
| 申请公布号 | TWI324673 | 申请公布日期 | 2010.05.11 |
| 申请号 | TW096120246 | 申请日期 | 2007.06.06 |
| 申请人 | 华懋科技股份有限公司 | 发明人 | 郑石治;陈寿忠;林哲弘;徐瑞珠;刘邦昱;洪守铭 |
| 分类号 | F24F13/28 | 主分类号 | F24F13/28 |
| 代理机构 | 代理人 | 蔺超群 | |
| 主权项 | 一种无尘室室内循环空气净化设备，主要系于外气入口连设一外气空调箱(Make Up Air Unit,MAU)，该外气空调箱之出口系直接导入一无尘室制程设备区，该无尘室制程设备区内设有一微污染净化设备及一特殊制程区，该微污染净化设备中系设有至少一吸附机构，该吸附机构上系涂布有一吸附层，以吸附无尘室室内循环空气内所含之微污染物，该微污染净化设备系与无尘室制程设备区之特殊制程区连设，且该无尘室制程设备区再与一制程废气处理设备连接，该制程废气处理设备系供处理无尘室制程设备区内之气体，经处理后再排放至大气中；藉此，以净化无尘室制程设备区之循环空气者。 | ||
| 地址 | 桃园县龙潭乡高原村横冈下1邻7之7号 | ||