基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置

摘要

基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置属于光学检测技术领域；在隔振基座上安装有球形气浮台和龙门支架，直线气浮导轨固定在龙门支架部位处，直线气浮导轨下端配置有光学波面干涉仪；球形气浮台由球形气浮轴、气浮轴基座、旋转电机、步进电机、环形导轨、第一导轨副、第二导轨副、支撑机构组成；球形气浮轴的台面上固定一环形导轨，环形导轨上对称配置第一导轨副和第二导轨副，第一导轨副与固定在气浮轴基座上的旋转电机刚性连接，第二导轨副通过轴承与固定在气浮轴基座上的支撑机构运动连接，步进电机固定在第二导轨副上，并与环形导轨运动连接；该装置机构简单，运动精度要求较低，并抑制了环境震动和被测件形变对测量结果的影响。

主权项

1、一种基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置，其特征在于：在隔振基座(1)上安装有球形气浮台(2)和龙门支架(3)，直线气浮导轨(4)固定在龙门支架(3)中央部位处，直线气浮导轨(4)下端部配置有光学波面干涉仪(5)。