发明名称 POSITIV LICHTEMPFINDLICHE POLYIMIDHARZZUSAMMENSETZUNG
摘要
申请公布号 DE60144530(D1) 申请公布日期 2011.06.09
申请号 DE20016044530 申请日期 2001.10.03
申请人 NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES LTD. 发明人 HATANAKA, TADASHI;NAKAYAMA, TOMONARI;NIHIRA, TAKAYASU
分类号 G03F7/037;C08G73/10;C08L79/08;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027 主分类号 G03F7/037
代理机构 代理人
主权项
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