发明名称 |
倒角机工件规正检测装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种倒角机工件规正检测装置,旨在提供一种能够对硅片进行规正,并对规正后的硅片进行检测,以提高加工精度的装置。在基座上有规正汽缸和电子尺,电子尺的测量杆通过连接板与两个导杠一端固定连接,两个导杠的另一端与导轮固定板固定连接,导轮固定板上有两个可自由转动的规正导轮,两个导杠分别置于固定在基座上的导套内,规正汽缸的推杆与规正调节板固定连接,两个导杠与规正调节板固定连接,规正调节板与基座之间安装有弹簧,电子尺的信号输出端通过模数转换器与倒角机PLC控制器的检测信号输入端连接,倒角机PLC控制器分别与触摸屏和报警器连接。该装置能够满足高精度加工的需要。 |
申请公布号 |
CN201859858U |
申请公布日期 |
2011.06.08 |
申请号 |
CN201020583176.1 |
申请日期 |
2010.10.29 |
申请人 |
天津友爱康复医疗设备有限公司 |
发明人 |
董双利 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 |
天津市三利专利商标代理有限公司 12107 |
代理人 |
肖莉丽 |
主权项 |
一种倒角机工件规正检测装置,其特征在于,包括基座,所述基座上固定安装有规正汽缸和电子尺,所述电子尺的测量杆通过连接板与两个导杠一端固定连接,两个导杠的另一端与导轮固定板固定连接,所述导轮固定板上安装有两个可自由转动的规正导轮,两个导杠分别置于固定在基座上的导套内,所述规正汽缸的推杆与规正调节板固定连接,两个导杠与所述规正调节板固定连接,所述规正调节板与基座之间安装有弹簧,所述电子尺的信号输出端通过模数转换器与倒角机PLC控制器的检测信号输入端连接,所述倒角机PLC控制器分别与触摸屏和报警器连接。 |
地址 |
300350 天津市津南区八里台泰达(津南)微电子工业区科达三路 |