发明名称 |
遮罩组件和使用此而用于平面显示器的沉积设备 |
摘要 |
遮罩组件包括:遮罩框架,该遮罩框架具有开口和围绕开口的框架;在遮罩框架上的图案遮罩,该图案遮罩包括具有至少一图案重叠着开口的图案部分以及附接于框架的焊接部分;以及至少一支持棒,其越过开口并且附接于图案遮罩。 |
申请公布号 |
TWI427177 |
申请公布日期 |
2014.02.21 |
申请号 |
TW099103131 |
申请日期 |
2010.02.03 |
申请人 |
三星显示器有限公司 南韩 |
发明人 |
成栋永;张大植 |
分类号 |
C23C14/56;C23C14/04;C23C16/54;C23C16/04 |
主分类号 |
C23C14/56 |
代理机构 |
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代理人 |
李国光 新北市中和区中正路928号5楼;张仲谦 新北市中和区中正路928号5楼 |
主权项 |
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地址 |
南韩 |