版模二次曝光用重压排气治具

摘要

本实用新型公开了一种版模二次曝光用重压排气治具，用于排除平置二次底片与平置版模之间的空气，包括：平置软垫治具和平置重压治具；所述平置版模、平置软垫治具、平置重压治具由下至上依次层叠于平置二次底片上，且版模的刮刀面贴合二次底片。本实用新型的版模二次曝光用重压排气治具，利用重压加软垫缓冲的方式对二次底片和版模刮刀面进行重压排气，避免用真空泵浦进行抽气抽真空，简化工序，缩短产品的制作周期，节约工时，提高作业人员效率，减少作业人员疲劳度，并大大减少了原有复杂工序导致的增加出来的设备与人力；还直接从版模的刮刀面进行曝光架桥，提高版模的架桥充分性。

主权项

版模二次曝光用重压排气治具，用于排除平置二次底片与平置版模之间的空气，其特征在于，包括：平置软垫治具和平置重压治具；所述平置版模、平置软垫治具、平置重压治具由下至上依次层叠于平置二次底片上，且版模的刮刀面贴合二次底片；所述平置软垫治具包括：用于贴合平置版模的平置软垫，用于固定软垫、位于软垫顶面的平置均压板，由均压板相对两侧向上延伸的一对把手；所述平置重压治具包括：用于下压均压板的平置重力压板，连接于重力压板顶面的一对把手；所述平置软垫的面积不小于平置版模的面积；所述平置均压板的面积不小于平置软垫的面积；所述平置重力压板的面积等于平置均压板的面积。