氮化铝基板厚铜覆铜之制备方法

主权项

一种氮化铝基板厚铜覆铜之制备方法，该方法系包含以下步骤：(A)提供一氮化铝基板；(B)利用溅镀制程于该氮化铝基板表面形成一钛或钨金属层；(C)以电镀方式将铜金属形成于该钛或钨金属层上，形成复合基材；(D)提供一无氧铜厚板；(E)将该无氧铜厚板之一面与该复合基材结合；(F)将步骤(E)结合之基板置于气氛高温炉，该炉体内气氛为氮气，于温度范围900~1050℃，进行烧结制程。