薄膜真空泵

摘要

一种薄膜真空泵，所述薄膜真空泵具有电驱动的驱动单元和真空薄膜（94’’），所述真空薄膜将泵室（96’’）分隔成驱动侧的部分和远离驱动侧的部分，并且所述真空薄膜能够借助于驱动单元的可移动的部分（92’’）偏转。驱动单元是电磁驱动单元并且真空薄膜（94’’）的偏转在驱动单元中以电磁方式产生的线性运动的方向上进行。优选地，借助于所述可移动的部分（92’’）也操纵通风阀（903）。所述真空泵是相对小且紧凑的并且低噪声地工作。所述真空泵尤其适于吸奶器的“免提式”应用。

主权项

薄膜真空泵，所述薄膜真空泵具有电驱动的驱动单元和真空薄膜(94，94’，94”)，所述真空薄膜将泵室(96，96’，96”)分隔成驱动侧的部分和远离驱动侧的部分，并且所述真空薄膜能够借助于所述驱动单元的可移动的部分(92，92’，92”)偏转，其特征在于，所述驱动单元是电磁驱动单元，所述可移动的部分(92，92’，92”)的运动是线性运动并且所述真空薄膜(94，94’，94”)的偏转在所述驱动单元中以电磁方式产生的所述线性运动的方向上进行，其中所述可移动的部分(92”)与用于使所述薄膜真空泵通风的通风阀有效连接，其中所述通风阀具有通风薄膜(903)，其中所述真空薄膜(94”)与所述可移动的部分(92”)的第一端部牢固地连接，并且所述通风薄膜(903)与所述可移动的部分(92”)的第二端部牢固地连接，并且所述真空薄膜与所述通风薄膜在所述驱动单元之内形成对所述可移动的部分(92”)的支承，其中通过所述驱动单元产生的所述线性运动操控所述通风阀，其中所述可移动的部分(92”)能够借助于控制装置在第一和第二冲程中运动，以用于产生在所述泵室(96”)中的真空，并且所述可移动的部分能够在第三冲程中运动以用于操控所述通风阀，并且其中所述第三冲程在所述第二冲程的方向上发生并大于所述第二冲程。