一种利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置

摘要

一种利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置，包括激光散射瑕疵检测仪，激光散射瑕疵检测仪上设置有干涉显微镜，干涉显微镜固定于一连接装置上，连接装置与激光散射瑕疵检测仪固定连接，所述连接装置包括支架，支架一端固定有旋转套筒，另一端设置有套筒，套接于设置于光散射瑕疵检测仪壳体的凸块上，所述干涉显微镜与旋转套筒旋接，所述支架由3段杆体组成，3段杆体相互铰接，可折叠旋转调节干涉显微镜高度和角度，使其位于检测物体表面。满足工业生产中对微小缺陷的在线检测需求。

主权项

一种利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置，包括激光散射瑕疵检测仪，其特征在于激光散射瑕疵检测仪上设置有干涉显微镜，干涉显微镜固定于一连接装置上，连接装置与激光散射瑕疵检测仪固定连接，所述连接装置包括支架，支架一端固定有旋转套筒，另一端设置有套筒，套接于设置于光散射瑕疵检测仪壳体的凸块上，所述干涉显微镜与旋转套筒旋接，所述支架由3段杆体组成，3段杆体相互铰接，可折叠旋转调节干涉显微镜高度和角度，使其位于检测物体表面。