发明名称 |
膜片式薄膜压力传感器 |
摘要 |
本发明公开了一种膜片式薄膜压力传感器,包括一个外壳体,一个焊接在所述外壳体底部中心的应变膜片,一个固定于所述外壳体内部的电路板,其特征在于,所述应变膜片是采用4英寸或6英寸或10英寸的不锈钢或钛合金大片膜片材料,通过离子束溅射分别沉积绝缘膜、应变膜、焊盘膜、保护膜,然后光刻形成惠斯通电桥电路后切割分离的。另外,大片膜片材料最薄可为0.03mm,可以制造50kPa小量程压力传感器产品。由于采用大片膜片材料批量化生产弹性体,生产效率高,生产成本低,并保留了薄膜压力传感器的优良性能,克服了现有薄膜压力传感器的成本高、小量程产品生产困难的缺点,产品在军工、民用等领域得到广泛应用。 |
申请公布号 |
CN105136376A |
申请公布日期 |
2015.12.09 |
申请号 |
CN201510504679.2 |
申请日期 |
2015.08.18 |
申请人 |
州际科技实业有限公司 |
发明人 |
雷卫武;邓跃民 |
分类号 |
G01L9/04(2006.01)I;G01L19/04(2006.01)I |
主分类号 |
G01L9/04(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种膜片式薄膜压力传感器,包括一个外壳体(7),一个焊接在所述外壳体(7)底部中心的应变膜片(8),一个固定于所述外壳体(7)内部的电路板(9),其特征在于,所述应变膜片(8)是采用4英寸或6英寸或10英寸的不锈钢或钛合金大片膜片材料,通过离子束溅射分别沉积绝缘膜、应变膜、焊盘膜、保护膜,然后光刻形成惠斯通电桥电路(12)后切割分离的。 |
地址 |
333200 江西省婺源县工业园区 |