一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台

摘要

一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，属于高精度调整装置技术领域。为解决现有大尺寸光栅安装测试平台受中心高限制无法实现五维调整，以及现有四维调整装置整体刚度低、稳定性差问题。两个x轴光电接近开关通过两个x轴光电接近开关座与平动底座固接，交叉导轨组件的两根长导轨固定于平动底座上，内侧滑座组件固定于交叉导轨组件的四个滑块之间，x轴平动驱动组件的x轴滚珠丝杠螺母固定在内侧滑座组件的滑座基体内，y轴平动驱动组件与绕x、y、z轴旋转组件及内侧滑座组件固接，绕x、y、z轴旋转组件与交叉导轨组件的两根短导轨固接，光栅安装组件与绕x、y、z轴旋转组件固接。本发明用于大尺寸光栅安装测试。

主权项

一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是：它包括平动组件(1)、光栅安装组件(3)以及绕x、y、z轴旋转组件(2)，所述的平动组件(1)包括平动底座(8)、x轴平动驱动组件(4)、y轴平动驱动组件(5)、十字交叉导轨组件(6)、内侧滑座组件(7)、x轴光电接近开关一(11)、x轴光电接近开关座一(12)、x轴光电接近开关二(13)及x轴光电接近开关座二(14)；所述的平动底座(8)为长方形平动底座，所述的x轴光电接近开关一(11)通过x轴光电接近开关座一(12)与平动底座(8)一端固接，所述的x轴光电接近开关二(13)通过x轴光电接近开关座二(14)与平动底座(8)另一端固接；所述的十字交叉导轨组件(6)的两根长导轨平行于平动底座(8)长边固定于平动底座(8)上表面，所述的内侧滑座组件(7)水平设置在平动底座(8)上方，且内侧滑座组件(7)固定设置在十字交叉导轨组件(6)的四个十字滑块之间，所述的x轴平动驱动组件(4)与平动底座(8)上表面固接，x轴平动驱动组件(4)的x轴滚珠丝杠螺母(28)固定在内侧滑座组件(7)的滑座基体(18)内，所述的y轴平动驱动组件(5)通过y轴平动调整电机座(38)与绕x、y、z轴旋转组件(2)的转动托板(46)固接；所述的y轴平动驱动组件(5)通过y轴平动连接弯板(9)与所述的内侧滑座组件(7)固接，所述的绕x、y、z轴旋转组件(2)设置于平动组件(1)上，且绕x、y、z轴旋转组件(2)的转动托板(46)与十字交叉导轨组件(6)的短导轨一(16)和短导轨二(16‑1)固接；所述的光栅安装组件(3)设置于绕x、y、z轴旋转组件(2)上，且光栅安装组件(3)的光栅安装板(105)与绕x、y、z轴旋转组件(2)的零件托板二(43)上表面固接。