POLISHING PAD WITH SECONDARY WINDOW SEAL

摘要

연마 물품은 연마 표면 및 통공을 가지며, 통공은 제 1 섹션 및 제 2 섹션을 포함한다. 상기 연마 물품은 상기 통공 내로 내측으로 연장하는 돌기를 포함한다. 상기 연마 물품은 상기 연마 표면으로부터 더 먼 상기 제 1 표면의 측면 상에 하부 부분을 포함한다. 윈도우는 통공의 제 1 섹션 내에 위치된 제 1 부분 및 통공의 제 2 섹션 내로 연장하는 제 2 부분을 갖는다. 윈도우는 연마 표면에 대해 실질적으로 평행한 제 2 표면을 갖는다. 제 1 접착제는 윈도우를 돌기에 고정하기 위해 윈도우의 제 2 표면에 돌기의 제 1 표면을 부착하고 제 2 접착제는 제 1 접착제와 상이한 재료 조성을 갖는다. 제 2 접착제는 윈도우의 제 2 부분과 연마 물품의 하부 부분 사이에서 측방향으로 위치 설정된다.