| 摘要 |
웨이퍼 상의 결함을 검출하는 방법 및 시스템을 제공한다. 하나의 방법은 검사 시스템의 제1 광학기기 모드를 사용하여 생성된 웨이퍼에 대한 제1 출력에서 픽셀에 대한 차이값을 결정하는 단계와, 검사 시스템의 제2 광학기기 모드를 사용하여 생성된 웨이퍼에 대한 제2 출력에서 픽셀에 대한 다른 값을 결정하는 단계를 포함한다. 제1 및 제2 광학기기 모드는 서로 상이하다. 이 방법은 또한 웨이퍼 상의 동일 위치에 실질적으로 대응하는 제1 및 제2 출력에서 픽셀에 대한 차이값 및 다른 값의 2차원 산란 플롯(scatter plot)을 생성하는 단계를 포함한다. 이 방법은 2차원 산란 플롯을 기초로 하여 웨이퍼 상의 결함을 검출하는 단계를 더 포함한다. |
