电子零件之洗净装置及洗净方法

主权项

一种电子零件之洗净装置，系洗净电子零件之洗净对象部位，其特征在于：具备向夹着该洗净对象部位而相邻之复数个喷射区域分别喷射洗净液之复数个喷射部；该复数个喷射区域分别为线状；该复数个喷射部分别具有喷射图案，该喷射图案，从该喷射区域线状延伸方向观察之喷射方向相对包含该喷射区域之面成为垂直；该洗净对象部位之配置位置，系相邻之至少2个喷射区域间之大致中间位置，且该洗净对象部位系形成在基板或晶圆、与在该等之上透过焊料凸块构装之电子电路之间的间隙；该复数个喷射部系配置成该复数个喷射区域成为相互并行，使从该复数个喷射部喷射之该洗净液碰撞该复数个喷射区域，藉此产生向该洗净对象部位即间隙之相互逆向之至少2个洗净液流，且该2个洗净液流系利用在该间隙内碰撞的作用而洗净该间隙内。