具有侧壁梁的机电系统

摘要

本发明提供用于具有侧壁梁的机电系统的系统、方法和设备。在一个方面中，一种装置包含：衬底，其具有第一电极和第二电极；及可移动快门，其与所述衬底单片集成且具有第一壁、第二壁和基底。所述第一壁和第二壁各自具有比第二尺寸至少大四倍的第一尺寸。所述第一壁和第二壁界定所述快门的实质上平行垂直侧，且所述基底正交于所述第一壁和第二壁而定位且形成所述快门的水平底部，从而向所述第一壁和第二壁提供结构支撑。所述第一壁和所述第一电极界定第一电容器，且所述第二壁和所述第二电极界定第二电容器。

主权项

一种装置，其包括：衬底，其具有第一电极和第二电极；及可移动快门，其与所述衬底单片集成且具有第一壁、第二壁和基底，其中所述第一壁和第二壁各自具有比第二尺寸至少大四倍的第一尺寸，其中所述第一壁和第二壁界定所述快门的实质上平行垂直侧，且所述基底正交于所述第一壁和第二壁而定位且形成所述快门的水平底部，且其中所述第一壁和所述第一电极界定第一电容器，且所述第二壁和所述第二电极界定第二电容器。