发明名称 誘導加熱コイル及び該コイルを使用した単結晶の製造方法
摘要
申请公布号 JP5803729(B2) 申请公布日期 2015.11.04
申请号 JP20120032658 申请日期 2012.02.17
申请人 信越半導体株式会社 发明人 児玉 義博;佐藤 賢一;中澤 慶一
分类号 H05B6/36;C30B13/20;C30B29/06 主分类号 H05B6/36
代理机构 代理人
主权项
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