镀膜装置及镀膜系统;COATING DEVICE AND COATING SYSTEM

摘要

一种镀膜装置，用于对工件进行镀膜。镀膜装置包括第一模块、第二模块及密封圈。第一模块与第二模块相面对。第一模块包括相背的第一表面及第二表面、相背的第一侧面及第二侧面、第一抽气孔、第二抽气孔及进料孔。第二模块包括与第一表面相面对的成型面。成型面开设有成型凹槽。密封圈固设于第一表面。第一模块与第二模块合模时，工件藉由第二抽气孔抽气而被吸附固定于第一表面。工件、成型凹槽的底面及密封圈共同围成一个成型腔，成型腔连通第一抽气孔及进料孔。第一抽气孔用于对成型腔抽真空。进料孔用于注入液体胶以在工件表面形成膜层。