布轮抛光湿度检测误差修正方法

摘要

本发明公开了一种布轮抛光湿度检测误差修正方法，涉及布轮抛光加工领域。其提供一种原理简单、操作方便的布轮抛光湿度检测误差修正方法，由于湿度传感器检测的布轮抛光湿度值会随着探头与布轮的距离、抛光布轮半径、布轮表面灰度值的变化而产生一定的误差，该方法自动在线修正湿度检测误差，有效提高了湿度检测值的准确性。通过控制一种变量按固定值变化，统计布轮湿度检测值的变化量，来预测变量在其余数值下所引起的检测湿度值误差，最终将三种误差叠加，补偿到湿度检测值中。

主权项

一种布轮抛光湿度检测误差修正方法，其特征在于：设定当布轮为最大半径R时，湿度传感器检测探头与布轮表面的距离为基准距离L，同时设定布轮表面灰度值为0，此时布轮的湿度检测值为基准湿度值H_r；在存储器中事先存储其中一个参数变化，另两个参数固定时的湿度误差值，即由距离变化引起的湿度检测误差ΔH_L，由布轮半径变化引起的湿度检测误差ΔH_R，由布轮表面灰度值变化引起的湿度检测误差ΔH_G；检测当前布轮湿度值H，并检测当前湿度传感器检测探头与布轮表面距离、当前布轮半径、当前布轮表面灰度值，根据当前值找出相应的湿度检测误差，修正湿度检测值H′＝H+ΔH_L+ΔH_R+ΔH_G。