METHOD AND DEVICE FOR GENERATING A PLASMA EXCITED BY MICROWAVE ENERGY IN THE ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE (ECR) DOMAIN, IN ORDER TO CARRY OUT A SURFACE TREATMENT OR PRODUCE A COATING AROUND A FILIFORM ELEMENT

摘要

Selon le procédé: -on déplace linéairement en continu l'élément filiforme au travers de dipôles magnétiques disposés en regard et autour d'un tube constituant une chambre de traitement, -on introduit l'énergie micro-onde entre au moins deux dipôles magnétiques.