保护膜形成膜、保护膜形成用片及加工物的制造方法

摘要

本发明提供一种保护膜形成膜、保护膜形成用片及加工物的制造方法。本发明的保护膜形成膜(1)，其中，保护膜形成膜(1)及由保护膜形成膜(1)形成之保护膜中的至少一方，在测定温度0℃下测定之断裂应力(MPa)与在测定温度0℃下测定之断裂应变(单位：%)之积为1MPa．%以上250MPa．%以下。依该种保护膜形成膜(1)，在对工件进行分割加工而得到加工物时对工件进行之扩展制程中，能够适当地分割该保护膜形成膜(1)或由保护膜形成膜(1)形成之保护膜。