压印装置，压印方法及装置制造方法;IMPRINT APPARATUS, IMPRINT METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

摘要

一种压印装置被配置为透过使用其上形成有图案的模子来将该图案转印到供应在基板上的压印材料，该压印装置包括：光接收元件；检测系统，该检测系统被配置为照射在该基板上形成的标记和在该模子上形成的标记，以及将从在该基板上形成的标记和在该模子上形成的标记反射的光引导到该光接收元件；以及中继光学系统。该中继光学系统被配置为在该中继光学系统与该检测系统之间形成从在该基板上形成的标记和在该模子上形成的标记反射的光的图像。该检测系统被配置为将由该中继光学系统形成图像的光引导到该光接收元件。