| 主权项 |
一种速开真空阀，其包含：一闭锁装置，当该速开真空阀未接受一速动信号时，该闭锁装置使一封合结构闭锁或夹持在一参考装置上；一闭锁解除装置，当该速开真空阀接受该速动信号时，该闭锁解除装置解除该封合结构之闭锁；一速动能量储存装置，其储存一速动能量，当该封合结构之闭锁解除时，该速动能量作用于该封合结构以开启该速开真空阀，其总时间于0.2毫秒至200毫秒内完成。如申请专利范围第1项所述之速开真空阀，其中，更包含一防逆装置，以抑止该速开真空阀于速动过程中所震出之污染物逸出。如申请专利范围第2项所述之速开真空阀，其中，该防逆装置由复数挡板倾斜交错组成。如申请专利范围第1项所述之速开真空阀，其中，更包含一复归装置，该复归装置在该速开真空阀速动开启后，使该封合结构与该参考装置复归至闭锁状态。如申请专利范围第1项所述之速开真空阀，其中，该参考装置为一汽缸内之一活塞。如申请专利范围第1项所述之速开真空阀，其中，该闭锁解除装置包含一电磁吸铁致动器或一压电材料致动器。如申请专利范围第1项所述之速开真空阀，其中，该速动能量储存装置包含一弹簧或一气体。如申请专利范围第1项所述之速开真空阀，其中，该闭锁装置包含复数支架、复数夹制爪及一磁性体，该闭锁解除装置包含一电磁装置，该速动能量储存装置包含一第一腔体、一封合结构、一第一弹性装置、一风箱套、一连接杆、一第二腔体、一第二通道、一活塞及一夹制头，该防逆装置包含复数挡板，该复归装置包含一第三腔体、一第三通道或一第二弹性装置；该封合结构设于该第一腔体内用以开启或关闭该速开真空阀，该第二腔体与该第一腔体相连，该活塞设于该第二腔体内，该第二腔体设有该第二通道，该第二腔体、该活塞及该第二通道形成一汽缸，灌入或排出一气体以推动该活塞，该些支架设于该活塞，该些夹制爪之中段分别枢设于该些支架，该连接杆一端设于该封合结构，且该连接杆之另一端贯穿该第一腔体及该活塞后形成该夹制头，该些夹制爪具爪形之一端夹制该夹制头，该些夹制爪之另一端夹制该磁性体，此安排使该封合结构与该活塞呈闭锁而连动，该第一弹性装置压缩于该封合结构及该第一腔体之壁面之间并储存一速动能量，且该第一弹性装置之轴心由该连接杆贯穿，该风箱套同轴包覆该第一弹性装置，且该风箱套两端以真空密封方式连接该封合结构及该第一腔体之壁面，该风箱套随该封合结构移动而伸缩，以避免该第一腔体发生真空泄漏；该第三腔体与该第二腔体相连，并藉由该活塞分隔，该第三腔体设有该第三通道以灌入或排出一气体，或设有该第二弹性装置以顶抵该活塞；当该速动信号输入时，该电磁装置产生磁力吸附该磁性体脱离该些夹制爪，该第一弹性装置释放该速动能量于该封合结构，使该夹制头脱离该些夹制爪，且该封合结构速动开启；当该封合结构已速动开启，且该气体不再输入该第二腔体时，该第二腔体内的该气体经由该第二通道排出，另一气体经由该第三通道灌入该第三腔体下压该活塞或该第二弹性装置下压该活塞，使该些夹制爪重新夹制该夹制头，消失之该速动信号亦令该电磁装置释放该磁性体，使其归位夹制于该夹制头之另一端，此时该封合结构复归至闭锁状态。一种速关真空阀，其包含：一闭锁装置，当该速关真空阀未接受一速动信号时，该闭锁装置使一封合结构闭锁或夹持在一参考装置上；一闭锁解除装置，当该速关真空阀接受该速动信号时，该闭锁解除装置解除该封合结构之闭锁；一速动能量储存装置，其储存一速动能量，当该封合结构之闭锁解除时，该速动能量作用于该封合结构以关闭该速关真空阀，其总时间于0.2毫秒至200毫秒内完成。如申请专利范围第9项所述之速关真空阀，其中，更包含一防逆装置，以抑止该速关真空阀于速动过程中所震出之污染物逸出。如申请专利范围第10项所述之速关真空阀，其中，该防逆装置由复数挡板倾斜交错组成。如申请专利范围第9项所述之速关真空阀，其中，更包含一复归装置，该复归装置在该速关真空阀速动关闭后，使该封合结构与该参考装置复归至闭锁状态。如申请专利范围第9项所述之速关真空阀，其中，该参考装置为一汽缸内之一活塞。如申请专利范围第9项所述之速关真空阀，其中，该闭锁解除装置包含一电磁吸铁致动器或一压电材料致动器。如申请专利范围第9项所述之速关真空阀，其中，该速动能量储存装置包含一弹簧或一气体。如申请专利范围第9项所述之速关真空阀，其中，该闭锁装置包含复数支架、复数夹制爪及一磁性体，该闭锁解除装置包含一电磁装置，该速动能量储存装置包含一第一腔体、一封合结构、一第一弹性装置、一风箱套、一连接杆、一第二腔体、一第二通道、一活塞及一夹制头，该防逆装置包含复数挡板，该复归装置包含一第三腔体、一第三通道或一第二弹性装置；该封合结构设于该第一腔体内用以关闭或开启该速关真空阀，该第二腔体与该第一腔体相连，该活塞设于该第二腔体内，该第二腔体设有该第二通道，该第二腔体、该活塞及该第二通道形成一汽缸，灌入或排出一气体以推动该活塞，该些支架设于该活塞，该些夹制爪之中段分别枢设于该些支架，该连接杆一端设于该封合结构，且该连接杆之另一端贯穿该第一腔体及该活塞后形成该夹制头，该些夹制爪具爪形之一端夹制该夹制头，该些夹制爪之另一端夹制该磁性体，此安排使该封合结构与该活塞呈闭锁而连动，该第一弹性装置压缩于该封合结构及该第一腔体之壁面之间储存一速动能量，且该第一弹性装置之轴心由该连接杆贯穿，该风箱套同轴包覆该第一弹性装置，且该风箱套两端以真空密封方式连接该封合结构及该第一腔体之壁面，该风箱套随该封合结构移动而伸缩，以避免该第一腔体发生真空泄漏；该第三腔体与该第二腔体相连，并藉由该活塞分隔，该第三腔体设有该第三通道以灌入或排出一气体，或设有该第二弹性装置以顶抵该活塞；当该速动信号输入时，该电磁装置产生磁力吸附该磁性体脱离该些夹制爪，该第一弹性装置释放该速动能量于该封合结构，使该夹制头脱离该些夹制爪，且该封合结构速动关闭；当该封合结构已速动关闭，且该气体不再灌入该第二腔体时，该第二腔体内的该气体经由该第二通道排出，另一气体经由该第三通道灌入该第三腔体下压该活塞或该第二弹性装置下压该活塞，使该些夹制爪重新夹制该夹制头，消失之该速动信号亦令该电磁装置释放该磁性体，使其归位夹制于该夹制头之另一端，此时该封合结构复归至闭锁状态。一种速切换真空阀，其包含：一闭锁装置，当该速切换真空阀未接受一速动信号时，该闭锁装置使一封合结构闭锁或夹持在一参考装置上；一闭锁解除装置，当该速切换真空阀接受该速动信号时，该闭锁解除装置解除该封合结构之闭锁；一速动能量储存装置，其储存一速动能量，当该封合结构之闭锁解除时，该速动能量作用于该封合结构以切换该速切换真空阀，其总时间于0.2毫秒至200毫秒内完成。如申请专利范围第17项所述之速切换真空阀，其中，更包含一防逆装置，以抑止该速切换真空阀于速动过程中所震出之污染物逸出。如申请专利范围第18项所述之速开真空阀，其中，该防逆装置由复数挡板倾斜交错组成。如申请专利范围第17项所述之速切换真空阀，其中，更包含一复归装置，该复归装置在该速切换真空阀速动切换后，使该封合结构与该参考装置复归至闭锁状态。如申请专利范围第17项所述之速切换真空阀，其中，该参考装置为一汽缸内之一活塞。如申请专利范围第17项所述之速切换真空阀，其中，该闭锁解除装置包含一电磁吸铁致动器或一压电材料致动器。如申请专利范围第17项所述之速切换真空阀，其中，该速动能量储存装置包含一弹簧或一气体。如申请专利范围第17项所述之速切换真空阀，其中，该闭锁装置包含复数支架、复数夹制爪及一磁性体，该闭锁解除装置包含一电磁装置，该速动能量储存装置包含一第一腔体、一封合结构、一第一弹性装置、一风箱套、一连接杆、一第二腔体、一第二通道、一活塞及一夹制头，该防逆装置包含复数挡板，该复归装置包含一第三腔体、一第三通道或一第二弹性装置；该第一腔体之右侧、左侧下方及左侧上方分别连接一共同端、一第一切换端及一第二切换端，该封合结构设于该第一腔体之中段内，用以切换该速切换真空阀，该第二腔体与该第一腔体相连，该活塞设于该第二腔体内，该第二腔体设有该第二通道，该第二腔体、该活塞及该第二通道形成一汽缸，灌入或排出一气体以推动该活塞，该些支架设于该活塞，该些夹制爪之中段分别枢设于该些支架，该连接杆一端设于该封合结构，且该连接杆之另一端贯穿该第一腔体及该活塞后形成该夹制头，该些夹制爪具爪形之一端夹制该夹制头，该些夹制爪之另一端夹制该磁性体，此安排使该封合结构与该活塞呈闭锁而连动，该第一弹性装置设于该封合结构及该第一腔体之壁面之间储存一速动能量，且该第一弹性装置之轴心由该连接杆贯穿，该风箱套同轴包覆该第一弹性装置，且该风箱套两端以真空密封方式连接该封合结构及该第一腔体之壁面，该风箱套随该封合结构移动而伸缩，以避免该第一腔体发生真空泄漏；该第三腔体与该第二腔体相连，并藉由该活塞分隔，该第三腔体设有该第三通道以灌入或排出一气体，或设有该第二弹性装置以顶抵该活塞；当该速动信号输入时，该电磁装置产生磁力吸附该磁性体脱离该些夹制爪，该第一弹性装置释放该速动能量于该封合结构，使该夹制头脱离该些夹制爪，且该封合结构速动切换；当该封合结构已速动切换，且该气体不再灌入该第二腔体时，该第二腔体内的该气体经由该第二通道排出，另一气体经由该第三通道灌入该第三腔体下压该活塞或该第二弹性装置下压该活塞，使该些夹制爪重新夹制该夹制头，消失之该速动信号亦令该电磁装置释放该磁性体，使其归位夹制于该夹制头之另一端，此时该封合结构复归至闭锁状态。一种真空系统，其系用于半导体、LCD、太阳能或光电产业生产设备，该真空系统包含：一速开真空阀，该速开真空阀连接二真空物件；或一速关真空阀，该速关真空阀连接二真空物件；或一速切换真空阀，该速切换真空阀连接三真空物件；其中，该速开真空阀、该速关真空阀或该速切换真空阀接受一速动信号，在0.2毫秒至200毫秒内完成开启、关闭或切换之动作，以使该些真空物件之间达到迅速导通或阻隔之目的。如申请专利范围第25项所述之真空系统，其中，该速开真空阀系使用如申请专利范围第1项所述之速开真空阀，该速关真空阀系使用如申请专利范围第9项所述之速关真空阀，该速切换真空阀系使用如申请专利范围第17项所述之速切换真空阀。一种真空系统，其系用于半导体、LCD、太阳能或光电产业生产设备，该真空系统包含：一真空腔体系统；一速关真空阀，其连接该真空腔体系统；以及一抽气系统，其连接该速关真空阀并对该真空腔体系统抽真空；其中，当该抽气系统抽气异常时，该速关真空阀接受抽气异常之一速动信号，在0.2毫秒至200毫秒内关闭，以防止气体或污染物回灌至该真空腔体系统。如申请专利范围第27项所述之真空系统，其中，该速关真空阀系使用如申请专利范围第9项所述之速关真空阀。如申请专利范围第27项所述之真空系统，其中，更包含备用之一抽气系统，及备用之一速开真空阀或备用之一真空阀，备用之该速开真空阀或备用之该真空阀连接该真空腔体系统，备用之该抽气系统连接备用之该速开真空阀或备用之该真空阀；其中，当该抽气系统抽气正常时，备用之该速开真空阀或备用之该真空阀系呈关闭状态，且备用之该抽气系统已完成至备用之该速开真空阀或备用之该真空阀之真空抽气；当该抽气系统抽气异常时，该速关真空阀接受该速动信号在0.2毫秒至200毫秒内关闭，以防止气体或污染物回灌至该真空腔体系统，备用之该速开真空阀接受该速动信号在0.2毫秒至200毫秒内开启或备用之该真空阀开启，以使备用之该抽气系统接续对该真空腔体系统抽真空，以防止抽气中断。如申请专利范围第29项所述之真空系统，其中，该速开真空阀系使用如申请专利范围第1项所述之速开真空阀，该速关真空阀系使用如申请专利范围第9项所述之速关真空阀。一种真空系统，其系用于半导体、LCD、太阳能或光电产业生产设备，该真空系统包含：一真空腔体系统；一速切换真空阀，其一共同端连接该真空腔体系统；一抽气系统，其连接该速切换真空阀之一第一切换端，并对该真空腔体系统抽真空；以及一备用抽气系统，其连接该速切换真空阀之一第二切换端并完成至该第二切换端之真空抽气；其中，当该抽气系统抽气异常时，该速切换真空阀接受抽气异常之一速动信号，在0.2毫秒至200毫秒内切换，使该备用抽气系统接续对该真空腔体系统抽真空，以防止气体或污染物回灌至该真空腔体系统及抽气中断。如申请专利范围第31项所述之真空系统，其中，该速切换真空阀系使用如申请专利范围第17项所述之速切换真空阀。如申请专利范围第25、27、29或31项所述之真空系统，其中，该速动信号来自一抽气帮浦之一异常信号；或位于该抽气帮浦端之一真空计所测出之一异常信号；或位于该抽气帮浦端之一气体流动侦测器所测出之一异常信号；或上述异常信号之组合。 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