发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101044010(B1) 申请公布日期 2011.06.24
申请号 KR20080118526 申请日期 2008.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址