| 主权项 |
一种用于制造薄膜光电器件的方法，所述方法包括：提供一基板，该基板包括一吸收层及一覆盖在所述吸收层之上的视窗层；将所述基板装载到室中；使所述基板经受从0.1托到约0.02托范围内的真空环境，并将所述基板保持在介于约130摄氏度到约190摄氏度的温度；引入来源于二乙基锌物质和水物质的反应物物质的混合物和载气；利用选择的流速将乙硼烷物质引入到所述反应物物质的混合物中，所述乙硼烷物质与二乙基锌的比值小于5%；利用所述选择的流速形成覆盖在所述视窗层之上的氧化锌膜以形成一透明导电氧化物，该透明导电氧化物具有约2.5毫欧-cm和更小的电阻率和约3000埃到约5000埃的平均粒径。 |
