发明名称 |
泡生法制备方形蓝宝石晶体的生长方法 |
摘要 |
本发明提供了一种泡生法制备方形蓝宝石晶体的生长方法。该蓝宝石单晶生长工艺主要由:引晶、放肩、等径、收尾拉脱和降温与退火阶段五部分构成。装炉时须保证方形坩埚与方形加热体同心,且其侧壁与方形加热体侧面平行,籽晶为端面与侧面都经过精定向的方形籽晶。等径生长阶段,加快降温速度,减慢提拉速度。收尾拉脱阶段,适当升温以实现对晶体收尾部分棱角的烘烤,同时增大提拉速度,使晶体与坩埚自动分离。降温与退火阶段初期和末期,以相对较快的降温速度进行冷却,中间阶段停止降温,并保温一段时间。该生长工艺有利于生长大尺寸高品质的方形蓝宝石单晶,采用该工艺生长方形蓝宝石单晶晶体质量好,可大幅度提高加工效率及方形块料的出材率。 |
申请公布号 |
CN104911708A |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
申请号 |
CN201510324712.3 |
申请日期 |
2015.06.15 |
申请人 |
哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 |
发明人 |
左洪波;杨鑫宏;张学军;李铁 |
分类号 |
C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/20(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种泡生法制备方形蓝宝石晶体的生长方法,其特征在于该蓝宝石单晶生长工艺主要分为引晶、放肩、等径、收尾拉脱、降温与退火五部分,具体过程为:(1)装炉:将高纯氧化铝粉料、方形预制块或碎晶装入方形坩埚内,保证方形坩埚与方形加热体同心,方形坩埚的侧壁与方形加热体侧面平行,将三面精定向的籽晶装在籽晶夹上;(2)抽真空,升温化料;(3)预热籽晶:将籽晶下落到距离液面一定的位置充分预热籽晶;(4)引晶:采用匀速旋转的方式将引晶形态控制成圆形,且引晶结束后将籽晶转到侧面与坩埚侧壁平行的位置;(5)放肩:分两次放肩,一次放肩采用较小的提拉与降温速度,二次放肩增大提拉与降温速度,减小放肩角;(6)等径生长:加快降温速率,减慢提拉速度;(7)收尾拉脱:当晶体生长完毕,适当升温以实现对晶体收尾部分棱角的烘烤,同时增大提拉速度,使晶体与坩埚自动分离;(8)降温与退火:最初以相对较快的降温速度进行冷却,中间关键温度段停止降温,保温一段时间,随后再以较快的速度降温。 |
地址 |
150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号 |