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Die Erfindung betrifft ein Target (2a) und ein Verfahren zur Herstellung eines Targets, wobei das Target aufweist: eine Targetplatte (14a), und eine Stabilisierungsschicht (16a), die mit der Rückseite der Targetplatte (14a) verbunden ist, wobei die Stabilisierungsschicht (16a) durch ein hochkinetisches Spritzverfahren von Stabilisierungsmaterial auf die Targetplatte (14a) hergestellt ist. |
