| 摘要 |
<p>암모니아 기체 및 모노할로실란 기체로부터 고 수율로 실릴아민 및 특히 트리실릴아민(TSA)을 제조하기 위한 장치인 관형 층류 관류 반응기가 개시된다. 상기 장치는 기체 유입 영역으로 정의되는 상기 반응기의 제1 부분, 반응 영역으로 정의되는 상기 반응기의 제2 부분 및 분리 영역으로 정의되는 상기 반응기의 제3 부분을 포함하는 관형 흐름 반응기일 수 있으며, 상기 반응 영역은 반응물 접촉 영역을 제공한다. 트리실릴아민은 콜드 트랩 수집 용기 내의 상기 분리 영역에서 회수될 수 있다.</p> |
