四氯化硅的处理工艺

摘要

一种四氯化硅的处理工艺，包括如下步骤：预热，氢气在氢气预热器内预热后，进入四氯化硅气化器；混合，四氯化硅和氢气进入四氯化硅气化器混合后，通过外供蒸汽加热气化后，进入进出气换热器；换热，进入出入器换热器的四氯化硅、氢气混合气体与来自氢化反应器的反应生成气换热；加热，四氯化硅、氢气混合气体换热后再进入电加热器加热；冷氢化，加热后的四氯化硅、氢气混合气体进入氢化反应器与其中的硅粉发生反应，反应生成气最终导出到进出气换热器中与入料的四氯化硅、氢气混合气体换热。本发明的四氯化硅的处理工艺可以降低了电耗。

主权项

一种四氯化硅的处理工艺，包括如下步骤：预热，氢气在氢气预热器内预热后，进入四氯化硅气化器；混合，四氯化硅和氢气进入四氯化硅气化器混合后，通过外供蒸汽加热气化后，进入进出气换热器；换热，进入出入器换热器的四氯化硅、氢气混合气体与来自氢化反应器的反应生成气换热；加热，四氯化硅、氢气混合气体换热后再进入电加热器加热；冷氢化，加热后的四氯化硅、氢气混合气体进入氢化反应器与其中的硅粉发生反应，反应生成气最终导出到进出气换热器中与入料的四氯化硅、氢气混合气体换热。