| 发明名称 | 基于石墨烯与纳米结构钙钛矿材料的光探测器 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了基于石墨烯与纳米结构钙钛矿材料的光探测器，包括一覆盖有二氧化硅的硅衬底，硅衬底上设有石墨烯导电层，石墨烯导电层的中部分布有纳米结构有机铅卤化物钙钛矿材料层，并形成异质结结构，石墨烯导电层的左右两端分别设有一电极层；硅衬底的最上方设有一钝化层，钝化层将石墨烯导电层、纳米结构有机铅卤化物钙钛矿材料层和两个电极层全部覆盖；位于两个电极层上方的钝化层上经光刻和刻蚀分别形成电极的一个接触孔，两个接触孔上分别淀积有金属引出电极。本实用新型构建光探测器件的技术与当前的硅电子工艺平台相比具有良好的兼容性，并且制备工艺简单，器件成功率高，具有实现快速、宽带响应、宽光谱光探测的极大潜力。 | ||
| 申请公布号 | CN204538089U | 申请公布日期 | 2015.08.05 |
| 申请号 | CN201520254260.1 | 申请日期 | 2015.04.24 |
| 申请人 | 苏州大学 | 发明人 | 鲍桥梁;王玉生;李绍娟 |
| 分类号 | H01L51/42(2006.01)I;H01L51/46(2006.01)I;H01L51/44(2006.01)I;H01L51/48(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人 | 夏海天 |
| 主权项 | 一种基于石墨烯与纳米结构钙钛矿材料的光探测器，其特征在于：包括一覆盖有二氧化硅的硅衬底（1），所述硅衬底（1）上表面的中部设有石墨烯导电层（2），所述石墨烯导电层（2）上表面的中部分布有若干纳米结构有机铅卤化物钙钛矿材料层（3），所述石墨烯导电层（2）与所述纳米结构有机铅卤化物钙钛矿材料层（3）形成异质结结构，所述石墨烯导电层（2）上表面的左右两端分别设有第一电极层（4）和第二电极层（5）；所述硅衬底（1）的上方设有一钝化层（6），所述钝化层（6）将所述石墨烯导电层（2）、所述纳米结构有机铅卤化物钙钛矿材料层（3）、所述第一电极层（4）和所述第二电极层（5）全部覆盖；位于所述第一电极层（4）和所述第二电极层（5）上方的所述钝化层（6）上经光刻和刻蚀分别形成电极的第一接触孔（7）和第二接触孔（8），所述第一接触孔（7）和所述第二接触孔（8）上分别淀积有第一金属引出电极（9）和第二金属引出电极（10）。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号 | ||