温度补偿微机电振荡器;TEMPERATURE COMPENSATED MEMS OSCILLATOR

摘要

一种温度补偿微机电振荡器。此温度补偿微机电振荡器包含微机电(Micro Electro Mechanical Systems；MEMS)振荡子组、加热器、连接体以及控制器。微机电振荡子组包含第一微机电振荡子以及第二微机电振荡子。第一微机电振荡子系用以输出主要振荡频率。第二微机电振荡子系用以根据第二微机电振荡子之温度来输出辅助振荡频率。加热器系用以提高微机电振荡子组之温度。连接体系连接于加热器以及微机电振荡子组之间，以将加热器之热能传送至微机电振荡子组，且电性隔离加热器与微机电振荡子组。控制器系用以根据主要振荡频率与辅助振荡频率间之差值来控制加热器。