| 发明名称 |
循环基板容器清洗系统及其方法;RECIRCULATION SUBSTRATE CONTAINER PURGING SYSTEMS AND METHODS |
| 摘要 |
本发明揭露一种降低半导体基板容器之清洗气体之消耗量的方法以及系统。循环清洗系统藉由过滤以及清洗气流从基板容器将清洗气体循环回至基板容器内、接收来自加载埠的气流或包含循环槽。 |
| 申请公布号 |
TW201529187 |
申请公布日期 |
2015.08.01 |
| 申请号 |
TW103143778 |
申请日期 |
2014.12.15 |
| 申请人 |
布鲁克斯ＣＣＳ有限责任公司 BROOKS CCS GMBH |
发明人 |
瑞布斯托克 卢兹 REBSTOCK, LUTZ |
| 分类号 |
B08B5/00(2006.01);H01L21/67(2006.01) |
主分类号 |
B08B5/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
张煌壠 |
| 主权项 |
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| 地址 |
德国 DE |
