| 发明名称 |
新的丙烯酸类单体、聚合物、包含该聚合物的抗蚀剂组成物及其图案的形成方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI494329 |
申请公布日期 |
2015.08.01 |
| 申请号 |
TW102120467 |
申请日期 |
2013.06.10 |
| 申请人 |
锦湖石油化学股份有限公司 |
发明人 |
韩俊熙;徐东辙;安浩益;金鎭伯;赵英旭;申汉杰 |
| 分类号 |
C08F220/18;C08F220/28;C08F232/08;G03F7/004;H01L21/027 |
主分类号 |
C08F220/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种丙烯酸类单体，具有下述化学式1的结构，
在上述化学式1中，R1和R2是各自独立地选自氢原子、含1至10个碳原子的烷基、及含1至10个碳原子的烷氧基所组成的族群中的任一个；R3是选自氢原子、含1至10个碳原子的烷基、及含3至30个碳原子的环烷基所组成的族群中的任一个；以及n是1至5的整数。 |
| 地址 |
南韩 |
