在化学气相沉积反应器中用于配气之系统和方法

主权项

一种反应器系统，包括：反应室，系至少包含固定在该反应室内的底板和可操作地连接到该底板的包壳；至少一条丝，系接附到该底板；电流源，用以供应电流到该至少一条丝；气体源，系可操作地连通到该反应室，以使气体流经该反应室；以及竖管，系可操作地连接到该气体源，用以注射该气体流入该反应室，并且在该反应室内容置多晶矽的沉积物。