发明名称 Hybrid plasma nozzle with surface wave for exciting extremely reactive discharges
摘要
申请公布号 CZ28463(U1) 申请公布日期 2015.07.22
申请号 CZ20150030990U 申请日期 2015.04.20
申请人 FYZIKÁLNÍ ÚSTAV AV ČR, V.V.I. 发明人 HUBIČKA ZDENĚK;STRAŇÁK VÍTĚZSLAV;ŠMÍD JIŘÍ;OLEJNÍČEK JIŘÍ;ČADA MARTIN;ADÁMEK PETR;KMENT ŠTĚPÁN;KROMKA ALEXANDER
分类号 H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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