投射照明系统的光学布置的定位方法

摘要

本发明涉及一种制造和/或调节投射照明系统的光学布置的方法，其中通过以特定的步长大小步进移动所述光学元件，至少一个驱动器被用来设置至少一个要被操控的光学元件的位置，其中步进移动的步长大小被设为所述光学元件离期望位置的距离的函数，所述距离由距离值表示，其中如果所述距离值大于第一阈值，则设置步长大小基本为常数，而如果所述距离值低于第一阈值，则所述特定的步长大小随着离所述期望位置的距离的减小而减小，和/或，从所述特定的步长大小的预定偏离、和/或从预定步长大小变化速率的预定偏离导致警告信号和/或停止所述移动。

主权项

一种制造和/或调节投射照明系统的光学布置的方法，其中通过以特定的步长大小步进移动至少一个要被操控的光学元件的位置，至少一个驱动器被用以设置所述光学元件的位置，其特征在于，所述步进移动的步长大小被设为所述光学元件离期望位置的距离的函数，所述距离由距离值表示，其中如果所述距离值大于第一阈值，则设置步长大小基本为常数，而如果所述距离值低于所述第一阈值，则所述特定的步长大小随着离所述期望位置的距离的减小而减小，和/或，从所述特定的步长大小、和/或从预定步长大小变化速率的预定偏离导致警告信号和/或停止所述移动，控制回路和至少一个位置传感器被设置，其中采用所述至少一个位置传感器来确定要被操控的所述光学元件的所述位置，从而确定离所述期望位置的所述距离，且所述控制回路基于所述确定的距离值定义所述特定的步长大小。