ION SOURCE HAVING A SHUTTER ASSEMBLY

摘要

이온 소스는 아크 챔버를 정의하는 아크 챔버 하우징을 포함한다. 아크 챔버 하우징은 고정된 위치에 추출 플레이트를 갖고, 추출 플레이트는 복수개의 추출 개구들을 정의한다. 이온 소스는 또한 추출 플레이트에 근접하여 아크 챔버의 외측에 위치된 셔터 어셈블리를 포함한다. 셔터 어셈블리는 하나의 시간 간격(time interval) 동안에 복수개의 추출 개구들 중 적어도 하나의 부분을 차단하도록 구성된다. 이온 소스로부터 추출된 이온 빔으로 처리될 작업물의 상대적 움직임과 결합된 이온 소스는 단지 하나의 이온 소스를 이용하여 2 차원 이온 주입 패턴이 작업물 상에 형성되는 것을 가능하게 한다.