一种截流取样法氦质谱检漏装置

摘要

本实用新型公开了一种截流取样法氦质谱检漏装置，包括用于容置被检产品的真空密封室、用于抽真空密封室的抽真空设备、连接真空密封室与抽真空设备的抽真空管道、以及氦质谱检漏仪，抽真空管道上安装有第一截流阀和第二截流阀，第一截流阀与第二截流阀之间的真空管道形成截流段，氦质谱检漏仪连接截流段。通过在抽真空管道上安装第一截流阀和第二截流阀，使第一截流阀与第二截流阀之间的抽真空管道形成截流段，通过关闭第一截流阀和第二截流阀，将真空密封室内的抽真空气体截流采集在截流段内，取走被检产品，对取样的抽真空气体进行检漏，检漏时被检产品已经脱离检测系统，提高生产效率，实现了生产线上的高速在线检测。

主权项

一种截流取样法氦质谱检漏装置，其特征在于：包括用于容置被检产品的真空密封室、用于抽真空所述真空密封室的抽真空设备、连接所述真空密封室与所述抽真空设备的抽真空管道、以及氦质谱检漏仪，所述抽真空管道上安装有第一截流阀和第二截流阀，所述第一截流阀与所述第二截流阀之间的真空管道形成截流段，所述氦质谱检漏仪连接所述截流段。