电介质陶瓷组合物、电子部件及其制造方法

摘要

本发明涉及电介质陶瓷组合物、电子部件及其制造方法。本发明涉及一种电介质陶瓷组合物，其含有含[(Ca_1-xSr_x)O]_m[(Zr_1-y-z-αTi_yHf_zMn_α)O₂](其中，0.991≤m≤1.010、0≤x≤1、0≤y≤0.1、0＜z≤0.02、0.002＜α≤0.05)所示组成的电介质氧化物的主要成分，以及相对于主要成分100摩尔份为0.1～0.5摩尔份的Al₂O₃和0.5～5.0摩尔份的SiO₂。本发明的目的在于提供具有[(CaSr)O]_m[(ZrTiHfMn)O₂]系电介质陶瓷组合物所具有的优异的各种特性，并且即使使电介质层的厚度变薄例如为2μm以下，也能够防止破裂产生的电介质陶瓷组合物。

主权项

电介质陶瓷组合物，其含有含(2)式所示组成的电介质氧化物的主要成分，以及相对于主要成分100摩尔份为0.1～0.5摩尔份的Al₂O₃和0.5～5.0摩尔份的SiO₂，即使使电介质层的厚度为2μm以下，也能够防止破裂产生，[(Ca_1‑xSr_x)O]_m[(Zr_{1‑y‑z‑α}Ti_yHf_zMn_α)O₂]...(2)其中，(2)式中，m、x、y、z和α满足：0.991≤m≤1.010，0≤x≤1，0≤y≤0.1，0＜z≤0.02，0.005≤α≤0.03。