基板处理系统

摘要

本发明之课题在于多腔室类型之基板处理系统中，改善系统全体之处理效率。;控制部70针对PM10A、10B、10C、10D基于预定之规则来决定进行基板W之处理、调节之优先顺位。然后，以针对全部之PM10各实施1次调节之1循环之间不致发生在全部的PM10同时进行基板W处理之全处理室同时使用状态的方式进行控制。调节C之实施时机于PM10A、10B、10C、10D并未重叠，来形成依序各错开167片之循环。