等离子处理装置

摘要

本发明提供一种等离子处理装置，使天线的有效电感减小，而将天线长度方向的两端部间所产生的电位差抑制为小电位差，借此将等离子电位抑制为低电位，并提高天线长度方向上的等离子密度分布的均一性。构成等离子处理装置的平面形状实质上笔直的天线(30)呈往返导体构造，即，以使两块矩形导体板(31、32)位于同一平面上的方式，彼此隔开间隙(34)靠近地平行配置两块导体板(31、32)，利用导体(33)将两导体板长度方向(X)的一端相连接。高频电流(I_R)彼此逆向流至两个导体板(31、32)。在两导体板(31、32)的间隙侧边上形成开口部(37)，使多个开口部(37)分散地配置在天线(30)的长度方向(X)上。

主权项

一种等离子处理装置，其是感应耦合型的等离子处理装置，该感应耦合型的等离子处理装置通过使高频电流流入至平面形状实质上笔直的天线，以使真空容器内产生感应电场，从而产生等离子，并使用所述等离子来对基板实施处理，所述等离子处理装置的特征在于：所述天线呈往返导体构造，所述高频电流彼此逆向地流入至两块矩形导体板，其中所述往返导体构造是指以使所述两块矩形导体板位于与所述基板的表面平行且两块矩形导体板位于同一平面上的方式，彼此隔开间隙而靠近地平行配置所述两块矩形导体板，且利用导体来将所述两个矩形导体板的长度方向的一端彼此予以连接，且在所述两块矩形导体板的所述间隙侧的边上，分别设置隔着所述间隙而相向的缺口，利用所述相向的缺口来形成开口部，使多个所述开口部分散地配置在所述天线的长度方向上。