| 摘要 |
<p>Eine Drehtischeinheit in einem erfindungsgemäßen Schichtabscheidungssystem (1) weist einen Drehtisch und erste austauschbare Einheiten und zweite austauschbare Einheiten auf, die lösbar an dem Drehtisch anbringbar sind. Ein an jeder zweiten austauschbaren Einheit zu montierendes Werkstück unterscheidet sich hinsichtlich des Durchmessers von einem auf jeder ersten austauschbaren Einheit zu montierenden Werkstück. Um einen Abstand (S1) zwischen jedem Werkstück unterschiedlicher Größe und einem Target (T1) konstant zu halten, ist ein Abstand zwischen einer Position, an der das auf jeder ersten Werkstückmontageplatte montierte Werkstück (W1) einer Abdampfungsfläche (T1a) des Targets (T1) zugewandt ist, und einem Rotationszentrum (O) des Drehtischs gleich einem Abstand zwischen einer Position, an der das auf jeder zweiten Werkstückmontageplatte montierte Werkstück der Abdampfungsfläche des Targets zugewandt ist, und dem Rotationszentrum eingestellt.</p> |
